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ICP-AES法通常存在的干扰大致可分为两类：
一类是光谱干扰，主要包括了连续背景和谱线重叠干扰，
另一类是非光谱干扰，主要包括了化学干扰、电离干扰、物理干扰以及去溶剂干扰等，在实际分析过程中各类干扰很难截然分开。
在一般情况下，必须予以补偿和校正。
此外，物理干扰一般由样品的粘滞程度及表面张力变化而致；尤其是当样品中含有大量可溶盐或样品酸度过高，都会对测定产生干扰。消除此类干扰的最简单方法是将样品稀释。
优化试验条件选择出最佳工作参数，无疑可较少ICP-AES法的干扰效应，但由于废水成分复杂，大量元素与微量元素间含量差别很大，因此来自大量元素的干扰不容忽视。例如下列待测元素Al，As，Be，Ba，Ca，Cd，Co，Cr
Cu，Mn，Ni，Pb，v，Zn，Ti，建议在的分析波长下的主要光谱干扰。
校正元素间干扰的方法很多，化学富集分离的方法效果明显并可提高元素的检出能力，但操作手续繁冗且易引入试剂空白；基体匹配法（配制与待测样品基体成分相似的标准溶液）效果十分令人满意。
此种方法对于测定基体成分固定的样品,是理想的消除干扰的办法,但存在高纯度试剂难于解决的问题，而且废水的基体成分变化莫测，在实际分析中，标准溶液的配制工作将是十分麻烦的；比较简便而且目前常用的方法是背景扣除法（凭试验，确定扣除背景的位置及方式)及干扰系数法。
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