1.质量范围：质谱仪器能检测到的最低和最高质量，取决于质量分析器的类型。因为质谱检测的是质荷比（m/z），而不是质量，所以仅当离子所带电荷数z=1时，才将质量上下限看成是能检测化合物的最高最低相对分子质量。若相对分子质量为10000的化合物，带10个电荷，其m/z=10000/10=1000，所以质量上限为1000的质量分析器也能检测到相对分子质量为10000的化合物。

2.质量准确度：是指离子质量测定的准确性。

3.质量轴的稳定性：质量轴指质谱测定离子质量的坐标，亦称质量标尺。质量轴稳定性指在一定条件下，一定时间内质量标尺发生漂移的幅度，一般多以8h和12h内某一质量测定值的变化来表示。它和仪器的性能以及仪器操作条件有关，会随着仪器状态和操作条件变化而发生变化。目前商品化仪器均以48h来度量

4.分辨率：是指质谱分辨相邻两个离子质量的能力。不同质量分析器能达到的分辨率不一样，四极杆质谱和离子阱质谱均属于低分辨仪器，一般能分开质荷比相差1的两个带电离子，即通常所谓单位质量分辨。飞行时间质谱和扇形磁场质谱属于高分辨仪器。在GC/MS联用中低分辨质谱应用更为广泛，高分辨质谱目前主要应用在在二噁英和兴奋剂检测中。

5.灵敏度：有相对灵敏度和绝对灵敏度之分。通常仪器厂家所给指标指相对灵敏度，为一定进样量获得的待测信号强度（S）和噪声信号强度（N）之比S/N，是无量纲的数值。对多数质谱仪器而言灵敏度和分辨率互为倒数关系。随着分辨率的提高，灵敏度会显著下降，灵敏度是反映仪器整体性能的一项指标，它和离子化效率、离子传输效率、扫描方式、扫描速度、检测器增益、进样方式等许多因素密切相关。

6.扫描速度：质谱进行质量扫描的速度，定义为每秒钟扫描的最大质量数。取决于质量分析器性能以及计算机的运算速度、接口的信号转换速率。扫描速度慢，质谱图中的离子丰度比将受GC组份浓度变化的影响，色谱峰形也会因为采样点数不够而峰形变坏，从而降低定量的准确性。